ZEISSSigma
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ZEISS Sigma

用于高品质成像与高级分析的场发射扫描电子显微镜，将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合，利用成熟的 Gemini 电子光学元件。多种探测器可选：用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma 半自动的4步工作流程节省大量的时间：设置成像与分析步骤，提高效率。
  蔡司Sigma 300 蔡司Sigma 500
电子源  肖特基场发射电子枪  肖特基场发射电子枪
30 kV分辨率*(STEM) 1.0 nm 0.8 nm
15kV分辨率* 1.0 nm 0.8 nm
1 kV分辨率* 1.6 nm 1.4nm
30 kV分辨率*(可变压力模式) 2.0 nm 1.5 nm
背散射电子控测器(BSD) HD BSD HD BSD
最快扫描速度  50ns/像素 50ns/像素

 

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产品描述