ZEISS Sigma
用于高品质成像与高级分析的场发射扫描电子显微镜，将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合，利用成熟的 Gemini 电子光学元件。多种探测器可选：用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma 半自动的4步工作流程节省大量的时间：设置成像与分析步骤，提高效率。
| 蔡司Sigma 300 | 蔡司Sigma 500 | |
|---|---|---|
| 电子源 | 肖特基场发射电子枪 | 肖特基场发射电子枪 |
| 30 kV分辨率*(STEM) | 1.0 nm | 0.8 nm |
| 15kV分辨率* | 1.0 nm | 0.8 nm |
| 1 kV分辨率* | 1.6 nm | 1.4nm |
| 30 kV分辨率*(可变压力模式) | 2.0 nm | 1.5 nm |
| 背散射电子控测器(BSD) | HD BSD | HD BSD |
| 最快扫描速度 | 50ns/像素 | 50ns/像素 |
