ZEISS GeminiSEM
基本规格 | 加速电压 | 探针电流 | 存储分辨率 | 放大倍率 |
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蔡司GeminiSEM500 (热场发射电子枪稳定 性优于0.2%/h) |
0.02-30kV |
3 pA-20 nA(100nA配置可选) |
32kx24k最高达像素 | 50-2,000,000 |
蔡司GeminiSEM 450 | 0.02-30kV |
3 pA-40 nA(100nA或300nA配置可选) |
32kx24k最高达像素 | 12-2,000,000 |
蔡司GeminiSEM 300 | 0.02-30kV |
3 pA-20 nA(100nA配置可选) |
32kx24k最高达像素 | 12-2,000,000 |