轮廓形状测定机（EF550）

搭载巨集解析功能、将复杂解析作业提供省力方案
可搬动性/设置自由度高的测定机
即时输出功能、测定完後可得到扩大形状
连接轮廓形状解析系统、可以有更高度的解析

测定精度 Z:±(2.5+0.5xIHI)μm以下 H:变位(mm) X:±(2.5+0.02L)μm以下 L:测定长度(mm)
分解能: X:0.1μm Z:0.25μm
取样数/最小间隔: Max 64,000点/Min0.5μm
测定范围: Z:30mm X:50mm
表示倍率：纵(Z)、横(X): 1~2,000倍
直线度精度: 1.0μm/100mm