微细形状测定机（ET4000）
高精度·安定性·机能性卓越。适合于FPD基板·晶圆·硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的全自动微细形状测定机。针对用途有多机种可供选择
ET4000A-- 多机能的全自动微细形状测定机
ET4000L---对应大型工件的全自动微细形状测定机
ET4000M-- 高性能的泛用微细形状测定机
ET4000A-- 多机能的全自动微细形状测定机
ET4000L---对应大型工件的全自动微细形状测定机
ET4000M-- 高性能的泛用微细形状测定机
最大试片尺寸： 210x210mm~300x400mm
重现性： 1σ 0.5nm以内
测定范围： Z:100μm X:100mm (Y移动量:150~400mm)
分解能： Z:0.1nm X:0.1μm
测定力： 0.5μN~500μN(0.05mg~50mg)
