ET4000

微细形状测定机(ET4000)

高精度·安定性·机能性卓越。适合于FPD基板·晶圆·硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的全自动微细形状测定机。针对用途有多机种可供选择 
ET4000A-- 多机能的全自动微细形状测定机
ET4000L---对应大型工件的全自动微细形状测定机 
ET4000M-- 高性能的泛用微细形状测定机

 最大试片尺寸:  210x210mm~300x400mm
 重现性:            1σ 0.5nm以内
 测定范围:         Z:100μm  X:100mm (Y移动量:150~400mm)
 分解能:            Z:0.1nm X:0.1μm
 测定力:            0.5μN~500μN(0.05mg~50mg)

产品描述