轮廓形状测定机(EF650D)

X、Z轴采用数字式检出器、执行高精度的轮廓形状评价
方位向量解析
滚珠螺杆解析
非球面解析
测定资料图表可自由编辑表格

测定范围： Z:58mm X:100mm
触针/测定力： R25μm 30mN以下
测定精度： ±(1.0+|0.04H|)μm
测定角度：上坡77° 下坡87°
解析：要素解析/方位向量/MASTER比较/滚珠螺杆/非球面解析
分解能： Z:0.05μm
直线度精度： 1.0μm/100mm